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單面拋光機

TAP-400/450/500/600 series

該系列拋光機是雙軸高精密單面拋光設備，設備可依據不同晶圓配置相應拋光頭，真空吸附固定晶圓，氣囊加壓，拋光壓頭自轉并兼具擺動功能，適用于各種半導體材料的拋光。

TAP-400 TAP-450 TAP-500 TAP-600

拋光盤規格

OD400 mm

拋光頭數量

2個

拋光頭擺動

擺幅擺速可調

Features

產品特點

驅動形式

拋光壓頭自轉&擺動驅動系統

加壓方式

真空吸附固定晶圓氣囊加壓

恒溫控制

拋光盤溫度控制系統

配置豐富

雙軸加工配置拋光墊修整器

兼容性好

可依據不同種類晶圓配置相應拋光壓頭

壓力校準

精密稱重傳感器監測下壓壓力

加工便捷

可配置半自動loading上下片系統