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減薄機(jī)
單面拋光機(jī)
雙面拋光機(jī)
貼片機(jī)
刷洗機(jī)
全自動(dòng)單軸減薄機(jī)
IVG-2040/3040
全自動(dòng)單軸減薄機(jī)適用于4-12英寸晶圓的研削，配置機(jī)械手上下片，并集成自動(dòng)對(duì)中、清洗、干燥功能，配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)晶圓盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削加工。
  • 最大晶圓尺寸

    8英寸

  • 砂輪規(guī)格

    ?203(OD)mm

  • 砂輪軸功率

    6.0 kw

    • Features
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    全自動(dòng)系統(tǒng)
    全自動(dòng)上下片 干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削系統(tǒng)
    功能全面
    自動(dòng)厚度測(cè)量 多段研削程序 超負(fù)載等待
    兼容性好
    可磨削各類半導(dǎo)體材料 適應(yīng)4-12英寸晶圓減薄
    產(chǎn)品咨詢
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