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減薄機
單面拋光機
雙面拋光機
貼片機
刷洗機
全自動晶圓刷洗機
TSC-150C/200C/200L
該系列設備是晶圓拋光后的專用清洗設備，集成全自動上下料系統、雙面PVA刷洗、兆聲清洗、甩干&N2吹干等單元，集成度高，濕/干進干出，適用于各種半導體晶圓拋光后的清洗。
  • 清洗工位

    皮帶傳送式6工位

  • 晶圓尺寸

    3-6英寸

  • 刷洗工位*2

    2個PVA刷，雙面刷洗

    • Features
    產品特點
    清洗工藝
    預清洗/雙面刷洗/漂洗/兆聲/吹干/甩干
    刷子類型
    PVA 刷 雙面刷洗
    PLC控制系統
    觸摸屏操作
    全自動系統
    皮帶傳動 Cassette in/out 干進干出
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