全自動(dòng)液體蠟貼片機(jī)
TLB-360F/485F/576F
該系列設(shè)備是全自動(dòng)液體蠟貼片機(jī)，采用機(jī)械手全自動(dòng)上片，配有上下料倉(cāng)全自動(dòng)搬運(yùn)流轉(zhuǎn)陶瓷盤，自動(dòng)完成晶圓的DIW清洗、滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片工序，自動(dòng)氣囊壓片，貼蠟效果好，精度高，適用于各種半導(dǎo)體襯底材料拋光前的全自動(dòng)貼片。
晶圓尺寸2-6英寸
陶瓷盤規(guī)格OD360 mm
清洗工位純水+PVA刷
壓片裝置氣囊+氣缸二段壓片
