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雙面研磨機
TDL-600/1200
該系列雙面研磨機是一款高精度、高穩(wěn)定性的研磨加工設(shè)備,具備上盤、下盤、內(nèi)環(huán)主動驅(qū)動,可根據(jù)客戶需求定制游星輪,通過搭配不同材質(zhì)的研磨盤和不同粒徑及材質(zhì)的研磨液,實現(xiàn)各類半導(dǎo)體材料的雙面研磨加工。
TDL-600
TDL-1200
加壓方式
氣囊
研磨壓力
Max400 kgf
上下拋光盤尺寸
OD630 mm
游星輪規(guī)格
9B*5
產(chǎn)品咨詢
Features
產(chǎn)品特點
加壓方式
氣囊加壓方式 比例閥精確控制壓力
加工方式
雙面加工
工藝優(yōu)化
獨特的研磨盤面型控制工藝
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