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玻璃基板CMP

TPP-1310

人工將載板放到上下料工作臺上，通過上下料工作臺將載板放到上拋光盤上，然后進行自動拋光，機臺配置摩擦力終點檢測，可自動拋光至目標值才停止。

TPP-1310

晶圓尺寸

515*510mm / 600*600mm

拋光盤數(shù)量

1 個

上主軸拋光盤直徑

OD930 mm

吸附方式

無蠟墊吸附

Features

產品特點

終點檢測

配備先進的高精度EPD監(jiān)測功能

分區(qū)加壓

優(yōu)化壓力分布，確保拋光均勻性

兼容性好

設備可兼容不同尺寸的基板

半自動上下料

獨創(chuàng)輕接觸上下料系統(tǒng)，避免損傷